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Brooks質量流量計的詳細資料

品牌材質不銹鋼
精度等級1適用介質氣體
款式電子帶數顯轉換器形式一體式
公稱直徑3-25mm壓力范圍高壓
工作壓力0-30Mpa流量測速范圍0-30L/MINkg/h
溫度范圍中溫工作溫度0-65℃
產地進口加工定制
質保1年
  • 流量響應時間(完成時間)<0.75 s
  • 創新型 MEMS 傳感器和*的 PID 算法
  • 尺寸小巧,不足常規熱式MFC的 一半:1'' x 3''x 4'' (25 mm x 76 mm x 101 mm)
  • 本地操作界面 (LOI) 選項可簡化設置和操作;免費提供 LabVIEW VI 下載以進行設備監測和調零
  • 通過 RS-232 實現數字化功能

優勢

  • 非常適用于各種常見的無腐蝕性氣體
  • 響應速度快,可在切換工藝配方時確保各步驟的迅速完成
  • 非常適用于各 OEM:尺寸小巧,可輕松集成至緊湊的設備空間內并有助于加快安裝
  • 可選本地操作界面 (LOI) 是本地指示、設定值控制和設備配置的一站式解決方案;無需借助遠程二次儀表
  • 擁有多種通信方式,可輕松滿足用戶需求

應用

  • 熱處理、切割/焊接等其他熱式工藝
  • 太陽能/薄膜物理氣相沉積 (PVD) 系統
  • 用于測量和控制反應物、校準和樣品氣體流量的分析設備

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