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Brooks SLA5851S 質量流量計的詳細資料

品牌材質不銹鋼
精度等級1適用介質氣體
款式電子帶數顯轉換器形式一體式
公稱直徑3-25mm壓力范圍中壓
工作壓力0-10Mpa流量測速范圍0-100L/MIMkg/h
溫度范圍中溫工作溫度0-65℃
產地進口加工定制
質保1年

關鍵應用

  • 化學品與石化分析和試驗過程
  • 實驗室和分析系統
  • 生命科學實驗室
  • 薄膜氣相沉積
  • 熱處理、切割等其他熱過程
  • 真空應用

 

 

17025 Certified Devices (Includes linearity, excludes calibration system measurement uncertainty, per SEMI E69)

±0.6% of SP (20- FS)

±0.12% of FS (<20% FS)

1100 slpm up to 2500 slpm: ±0.6% of FS

 

Standard Devices (includes uncertainty from reference standards

±0.9% of SP (20- FS)

±0.18% of FS (2-20% FS)

1100 slpm up to 2500 slpm: ±1.0% of FS

模擬通訊

0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

 

數字通訊 DeviceNet™
EtherCAT®
EtherNet/IP™
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
PROFINET
RS-485

 

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