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Brooks 金屬轉子流量計的詳細資料

品牌材質不銹鋼
精度等級1適用介質氣體
轉換器形式一體式公稱直徑3-25mm
壓力范圍中壓工作壓力0-10Mpa
流量測速范圍30L/MINkg/h溫度范圍中溫
工作溫度0-65℃產地進口
加工定制質保1年

特點

  • 長期零點穩定性,每年變動小于滿量程的 0.2%
  • 能夠根據命令變化在 3 秒內完成設置并且過沖/下沖可忽略不計
  • 流量范圍寬 - 3 sccm 至高達 30,000 slpm
  • 高壓額定值 - 高達 1,500 psi
  • 可選增強型內部后處理工藝 - 5µ 英寸 Ra(平均值)
  • 可拆卸式流量傳感器
  • 不受安裝角度影響
  • 其他質量流量控制器在機械和電氣設計方面兼容
  • TTL 兼容型"閥關閉"和吹掃功能

優勢

  • 全金屬流路可確保氣體純度并降低泄漏風險
  • 在廣泛的工藝和應用范圍內擁有經認可的長期穩定性和準確性
  • 由于性能可靠,因此投資回報率出眾
  • 采用可拆卸式流量傳感器,因此無需對氣壓進行連續監測和重新調節
  • 由于模擬量僅為輸入/輸出,因此易于安裝和保養

應用

  • 光端機
  • LED/MOCVD
  • 半導體
  • 太陽能

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